退火条件对磁控溅射MgO-Ag3Sb-Sb2O4柔性薄膜热电性能的影响
作者:刘丹; 赵亚欣; 郭锐; 刘艳涛; 张志东; 张增星; 薛晨阳
更新时间:
MgAgSb是一种潜在的室温热电材料,具有相对丰富的元素储备,有望用于制造高性能的可穿戴热电电池。本研究试图在聚酰亚胺磁控溅射(PI)的基础上制备MgAgSb薄膜,并系统研究退火条件对其热电性能的影响。结果表明,该样品不是纯相MgAgSb柔性热电膜,而是由Ag3Sb、MgO、Sb2O4和多相组成的柔性热电膜,其中Ag3Sb起主要热电功能。在不同气氛下退火可以显著改善mg-Ag-sb柔性薄膜的热电性能,其中真空处理的性能最好。在真空条件下,随着退火温度的升高,柔性薄膜的热电性能先升高后降低。退火温度温度为573k时,热电性能最好,室温附近的功率因数达到74.16w·m-1·K-2。此外,这部电影表现出良好的灵活性。弯曲900次后,导电率仅变化14%。本研究为柔性热电薄膜的制备和可穿戴应用提供了参考。